QCMセンサの水晶素板表面の違いについて
① エッチング仕上げ ② ポリッシュ仕上げ の2種類があります。
① エッチング仕上げ品（すりガラス状仕上げ）
エッチング仕上げ品は、#4000番程度までの研磨剤にて表面研磨したのちに最終の表面処理としてエッチングを行うものです。②のポリッシュ仕上げ品に比較して表面はやや粗く、しかしながらその粗さのために電極金属の接着はポリッシュ品よりも強度があります。表面が粗いため電極表面積はポリッシュ品よりも広いことになります。
② ポリッシュ仕上げ品（鏡面仕上げ）
ポリッシュ仕上げ品は、①のエッチング仕上げ品よりもさらに細かい研磨剤にて研磨し水晶素板の表面が鏡面状（全くの透明）になるまで研磨したものです。 研磨後にエッチングなどの薬液処理は行いません。①のエッチング仕上げ品よりも等価直列抵抗値が格段に小さくなります。
①のエッチング品に比較し水晶素板の表面粗さが大幅に無くなるため、電極金属の接着の強度は①よりは多少弱くなる傾向にあります。強度を得るため スパッタリング成膜を行う場合もあります。