AFM（原子間力顕微鏡）用途の水晶ウェハ

 


AFM（原子間力顕微鏡）向けの素子の32.768kHz振動子を
ウェハ の状態で供給しています。
（製造元： Microcrystal ）

振動モード Tuning Fork　（音叉型） Length Extension （長辺振動)
外観

1) E158-24

2) E26

EX9
表面電極材質 金(Au) 金(Au)
型式

1） E158-24
2） E26

 EX9
周波数 32.768kHz 1MHz
振動子長さ

1）〜3.70mm
2）〜4.20mm

 〜3.58mm
幅

1）〜0.70mm
2）〜0.86mm

 −
アーム幅

1）〜0.23mm
2）〜0.25mm

 −
アーム長さ − 〜1.33mm
1ウェハでの振動子数

1）300〜
2）175〜

 140〜