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 QCM 水晶センサの電極について
★ 電極形成方法 ・・・・・・・ @真空蒸着 と Aスパッタリング があります。

真空蒸着とスパッタリング蒸着の違いについて ( 特殊金属での電極形成 )
表面Pt電極のQCMセンサ(スパッタリング加工品)
( 写真は 下地:Ti + 表面:Pt 電極 )

水晶センサーの電極形成方法として主に @真空蒸着成膜 Aスパッタリング成膜の2つがあります。コスト的に 真空蒸着の方が安価で済むため通常は真空蒸着のものを使用します( Cr+Au , Ni+Au , Ag など )。 

ただし真空蒸着では蒸着できない金属 ( Ti , Pt , Cu , Al , Pd , 他 ) の場合、または ポリッシュ品で電極の接着強度を増したい場合などにスパッタリングを行います。
またスパッタリングで形成される電極は成膜が分子レベルで行われるために真空蒸着よりもより丈夫で均質な膜が出来るメリットがあります 。

AFM(原子間力顕微鏡)撮影 を用いて測定した電極表面の違い
真空蒸着で成膜したAu電極の表面
真空蒸着で形成されたAu電極のAFM観察画像

※ 転載・転用はご容赦下さい。
スパッタリングで成膜したAu電極の表面
スパッタリングで形成されたAu電極のAFM観察画像

※ 転載・転用はご容赦下さい。

★ スパッタリングの方がより均質な成膜になります。


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