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QCM 水晶センサ  −水晶素板表面の違いについて−

大まかに分類すると @ エッチング仕上げ  A ポリッシュ仕上げ の2種類があります。

@ エッチング仕上げ品 (すりガラス状 )

エッチング処理表面仕上げ

 エッチング仕上げ品は、#4000番程度までの研磨剤にて表面研磨したのち、最終の表面処理としてエッチングを行うものです。Aのポリッシュ仕上げ品に比較し、表面はやや粗く、しかしながらその粗さのために電極金属の接着はポリッシュ品よりも強度があります。

   Aポリッシュ仕上げ品

ポリッシュ仕上げ

 ポリッシュ仕上げ品
は、@のエッチング仕上げ品よりもさらに細かい研磨剤にて研磨し水晶素板の表面が鏡面状(全くの透明)に なるまで研磨したものです。 研磨後にエッチングなどの薬液処理は行いません。 @のエッチング仕上げ品よりも等価直列抵抗値が格段に小さくなります。
 @のエッチング品に比較し、水晶素板の表面粗さがかなり無くなるため、電極金属の接着の強度は@よりは多少弱くなる傾向にあります。強度を得るため スパッタリング成膜を行う場合もあります。


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